TS150-HP & TS200-HP

产品概要：

MPI TS150-HP和TS200-HP探针系统提供了完整的150mm和200mm晶圆上开运官方入口，可在较宽的温度范围内实现功率半导体的低接触电阻测量。

基本信息：

空气轴承

MPI独特的气垫载物台设计，具有MPI独特简单的单手快速移动控制，为快速的XY导航和晶圆装载提供了很强的操作便利性，同时又具有额外精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯，提供更精准的定位能力。

卡盘系统

MPI提供高达10KV同轴、600A的卡盘选件，电磁屏蔽和工作台电弧屏蔽ArcShieldS设计为提高电压量测提供安全防护。

高电压/大电流/超大功率探头

MPI高功率探测开运官方入口包括专用的高压、大电流和超大功率探头。MPI的高压探头能高压测试期间进行低泄漏电流测量，测试高达3kV的三轴或5 kV和10kV的同轴设置。HCP使用MPI专有的多触点尖端来降低接触电阻，以进行高达600A的超高电流测量。UHP探头兼具这两种功能，并且无需为高压和高电流应用更换探头。

屏蔽系统

标准的手动高功率探头系统配置有暗箱或红外激光光幕，可以提供用于安全和EMI屏蔽功能的互锁，且能够确保低噪声、准确和安全的测量。

仪器集成

TS150-HP / TS200-HP可以配置各种仪器连接套件，其中包括必要的高压/大电流探头和电缆附件，以便连接至测试仪器，例如Keysight B1505(3kV或10kV)或Keithley 2600-PCT-XB，包括集成的8020大功率接口面板。

技术优势：

1、单机多应用设计

2、通用于高功率器件量测和晶圆级测试应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性(WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS)工效学与安全设计

3、方便单手操作的快速释放拖移气浮载物台设计

4、坚固且可乘载多达 10 支高电压 HV 或 4 支大电流HC 微定位器的工作台

5、电磁屏蔽箱和工作台电弧屏蔽 ArcShieldTM设计，为高电压量测提供安全防护

6、支持较宽的温度范围：20℃至300℃

应用方向：

MPI大功率器件表征系统是专门为晶圆上大功率器件测试而设计的。

 

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